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平面度测量方法

发布日期:2017-03-30  【打印此页】  【关闭

平面度属于形位公差的一种,是实际平面相对理想平面变动量的一项指标;它是针对平面发生不平而提出的要求。


平面度误差测量的常用方法有如下几种:


平晶干涉法:用光学平晶的工作面体现理想平面,直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。主要用于测量小平面。


打表测量法:打表测量法是将被测零件和测微计放于标准大理石平台上,以标准大理石平面作为测量基准面,用测微计沿实际表面逐点或沿几条直线方向进行测量。打表测量法评定基准面分为三点法和对角线法,三点法是用被测实际表面上相距最远的三点所决定的理想平面作为评定基准面,实测时先将被测实际表面上相距最远的三点调整到与标准大理石平台等高;对角线法实测时先将实际表面上的四个角点按对角线调整到两两等高,然后用测微计进行测量,测微计在整个实际表面上测得的大变动量即为该实际表面的平面度误差。


液平面法:液平面法是用液平面作为测量基准面,液平面由连通罐内的液面构成,然后用传感器进行测量。此法主要用于测量大平面的平面度误差。


光束平面法:光束平面法是采用准值望远镜和瞄准靶镜进行测量,选择实际表面上相距最远的三个点形成的光束平面作为平面度误差的测量基准面。


以上平面度测量法都为传统平面度测量法,现今工业对产品的平面度要求及数据报表要求越来越高,接下来我们来看看高精度平面度测量方法:


光学影像测量法:光学影像测量法是2.5次元影像测量仪采用非接触式光学Z轴自动对焦模式,对产品平面取多点拟合成一个平面,从而通过软件运算其平面度值。但因为是多点对焦模式,测量速度较慢,且测量精度有限。


 

三坐标测量法:三坐标测量法是三坐标测量机采用接触式红宝石球形探针对产品面进行触碰式取多点,再通过软件模块运算其平面度值。该测量法测量精度高,效率相对快,但是可能会对产品面造成刮伤。

 

激光测量法:激光测量法是采用单激光或多激光进行非接触式测量,不仅不会损伤产品,且取点快,约1/点,精度高,是现今各电子、五金等行业的优选。以下为我司平面度快速测量仪,适用于手机玻璃、汽车玻璃、PAD平板玻璃、PCB板及各类平面类零件的平面度(平整度/翘曲度)的快速测量。适用于镀膜的玻璃和非镀膜的玻璃测量;适合光伏玻璃和玻璃衬底的弯曲度、翘曲度、表面形貌和镀膜测量。效率可达3/片。


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